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【技术文章】现代薄膜分析方法 2014-06-25

针对不同的研究对象，常常需要采用不同的研究手段，对于薄膜材料的结构或成分分析的研究也如此。对于早期的光学涂层薄膜材料，人们对其研究主要涉及薄膜的厚度、均匀性以及它的光学性能。在电子技术发展以后，人们对薄膜的研究相应地扩展到了薄膜的各种结构特征、成分分布、界面...

【技术文章】Monte Carlo模拟方法需做以下处理 2014-06-23

(1)虽然沉积粒子所释放的动能和结合能将导致沉积原子附近局部温度升高，但整个基体的温升是极其微小的，因此可认为薄膜生长是等温生长过程。 (2)当人射粒子在基体表面上的能量足够大时，该粒子不但可以在膜层表面进行迁移运动，甚至可以在垂直方向进行运动，若...

【技术文章】Monte Carlo模拟薄膜生长的模型 2014-06-20

模型的建立 薄膜沉积过程是一个非常复杂的物理化学变化过程。薄膜生长的整个过程不仅涉及到晶粒的生长、晶粒间的相互作用、边界运动等因素的机理，也涉及空间填补的拓扑几何机理。因此，要对此进行实际真实的模拟是不可能的，只能是针对研究的目的，建立合适的理想模...

【技术文章】薄膜生长是过程的算法三全表法KMC 2014-06-18

在这种方法中，对每一种可能的原子迁移都要枚举，建立了一个包括各种可能发生的事件，以及每个事件对应的激活能的大表。这是一种比较准确的方法，但这种方法在具体应用中非常复杂。例如当初始位置和目标位置各有12个最近邻时，在迁移过程中总共就要涉及到18个晶位，那么就有...

【技术文章】薄膜生长是过程的算法二键计数KMC 2014-06-16

该方法用原子迁移时的激活能来确定某一事件的发生概率。激活能由迁移原子初始位置的最近邻的数目确定，或者由迁移原子初始位置最近邻的数目和迁移目标位最近邻的数目之差来确定。这种方法的优点是在所建立的模型比较合理时，能够准确地研究原子的环境变化。但是，激活能的计算并...

【技术文章】薄膜生长是一个随机过程的算法一 2014-06-14

薄膜生长是一个随机过程，利用Monte Carlo算法模拟薄膜的生长过程是研究其生长机理的有效途径。目前，Monte Carlo法模拟薄膜生长主要有3种算法: 1)指定事件的Kinetic Monte Carlo(KMC) 这种...

【技术文章】计算机模拟薄膜形成过程的两种方法 2014-06-12

随着计算机科学的发展，从20世纪70年代开始，国际上许多研究工作者用计算机模拟方法研究薄膜的形成过程。利用计算机模拟薄膜形成过程时大体可以采用两种方法:蒙特卡罗方法和分子动力学方法。 蒙特卡罗(Monte Carlo)方法又称随机模拟法或统计试验法...

【技术文章】薄膜结构与沉积原子的人射方向也有关 2014-06-09

薄膜结构与沉积原子的人射方向也有关。原子人射角的大小对薄膜结构有很大影响，使薄膜产生各向异性。随着结晶颗粒的增大，而入射的沉积原子就逐渐沿着原子的人射方向长大，于是会产生所谓的自身影响效应，从而使薄膜表面出现凹凸不平，缺陷较多，并出现各向异性。这种沿原子人射...

【技术文章】低沉积速率使膜层结构疏松 2014-06-04

低沉积速率使膜层结构疏松，电子越过其势垒产生电导的能力弱，加上氧化和吸附作用，所以电阻值较高，电阻温度系数偏小，甚至为负值。随着沉积速率的增大，电阻值也由大到小，而温度系数却由小到大，由负变正。这是由于低沉积速率的薄膜由于氧化而具有半导体特性，所以温度系数出...

【技术文章】沉积态合金组织的形貌及选区电子衍射图 2014-05-31

图5一13(a)是沉积态合金组织的形貌及选区电子衍射图。这时，合金的形貌没有任何特征，相应的衍射图为一晕环。这表明薄膜的结构为非晶态的，其结构有序的范围不超过几个原子间距。但这还不能确定薄膜的结构是完全意义上的非晶态还是所谓的微晶结构.