计算机模拟薄膜形成过程的两种方法
随着计算机科学的发展,从20世纪70年代开始,国际上许多研究工作者用计算机模拟方法研究薄膜的形成过程。利用计算机模拟薄膜形成过程时大体可以采用两种方法:蒙特卡罗方法和分子动力学方法。
蒙特卡罗(Monte Carlo)方法又称随机模拟法或统计试验法。用这种方法处理问题时,首先要建立随机模型,然后产生一系列随机数用以模拟这个过程,*再作统计性处理。在模拟薄膜形成过程时,将气相原子人射到基体上、吸附、解吸,吸附原子的凝结、表面扩散、成核、形成聚集体和形成小岛等都看为独立过程并作随机现象处理。
分子动力学(molecular dynamics)方法是一种较老的方法。在这种方法中对系统的典型样本的演化都是以时间和距离的微观尺度进行的。