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薄膜生长是一个随机过程,利用Monte Carlo算法模拟薄膜的生长过程是研究其生长机理的有效途径。目前,Monte Carlo法模拟薄膜生长主要有3种算法:
1)指定事件的Kinetic Monte Carlo(KMC)
这种方法指定几类可能会发生的事件,但不允许其他类型的事件发生。例如规定允许被吸附的原子可以在某个晶面内或沿边缘迁移,不允许其他类型的事件,如跨晶面或跨边界迁移。这种方法的优点是可以准确地知道发生的事件及其概率;缺点是有可能忽略某些重要类型的事件,造成模拟结果不准确。