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【技术文章】薄膜的形成与生长 2014-03-31

薄膜的形成过程是指形成稳定核之后的过程；薄膜生长模式是指薄膜形成的宏观形式。薄膜的生长模式大体上可分为三种:岛状生长模式、层状生长模式和层岛结合的生长模式。 如图所示：

【技术文章】薄膜晶核的形成与生长的物理过程 2014-03-26

在基底表面上吸附的气相原子凝结之后，吸附原子在其表面上扩散迁移而形成晶核。晶核再结合其他吸附气体原子逐渐长大，*便形成了薄膜。因此薄膜的形成是由成核开始的，由核生长而形成薄膜。 晶核形成与生长的物理过程可用图5一3来表示。从图中可以看出核的形成...

【技术文章】薄膜表面扩散过程 2014-03-22

入射到基底表面上的气相原子在表面上形成吸附原子后，它便失去了沿表面法线方向的动能，只具有与表面水平方向相平行运动的动能。依靠这种动能，吸附原子可以在表面上作不同方向的表面扩散运动。在表面扩散过程中，单个吸附原子间相互碰撞形成原子对之后才能产生凝结。因此凝结就...

【技术文章】薄膜的凝结吸附过程 2014-03-19

凝结过程是指从蒸发源中或溅射靶上被蒸发或溅射出来的原子、离子或分子人射到基底表面之后，从气相到吸附相，再到凝结相的一个相变过程，它是薄膜形成的*个阶段。 固体表面与固体内部在晶体结构上的重大差异就是原子或分子间的化学键中断。原子或分子在固体表面形成...

【技术文章】薄膜的形成与生长 2014-03-15

薄膜的形成与生长过程大体可分为外来原子在基底(或称为基片、基板或衬底)上的凝结、扩散、成核、晶核生长、原子或粒子团的接合及连接成膜等阶段。薄膜的形成与生长过程不仅与薄膜材料和基底材料有关，还受原子和离子的状态及能量、沉积速率、基底温度、杂质等多种因素的影响。...

【技术文章】薄膜制备环境-超净工作间标准与级别 2014-03-10

在洁净的环境下制备薄膜，是保证薄膜质量的关键技术之一。净化间的定义最初是由美国开发的联邦标准209版(Federal Standard 209)。后来发展为以单位体积中存在一定直径以上的颗粒数为基础的净化间级别的定义。净化间级别的米制版如表4一18所列。图4...

【技术文章】薄膜制备的环境-尘埃与针孔 2014-03-05

【技术文章】薄膜图形加工的主要方法 2014-02-28

在基板表面上形成所要求的薄膜图形的方法大致有以下三种: (1)用丝网印制术印制或者用感光树脂(光刻胶)在基板表面上形成负图像，然后采用真空蒸镀、溅射、CVD等方法进行全表面镀膜，接着把基板浸泡在溶解负像物质的溶剂中，这样在把形成负像物质泡胀溶解的同时，...

【技术文章】什么是薄膜-陶瓷基片 2014-02-25

氧化铝和镁橄榄石等绝缘性陶瓷，即使在高温条件下对高频电力也具有优异的绝缘电阻、耐压和介电损耗等性能。陶瓷绝缘材料的主要用途见表4一5，其性能见表4一6。 陶瓷性能受到下面许多因素影响:主要成分的晶体类型，非主要成分组成，杂质，玻璃质中间物，气孔数最和分...

【技术文章】玻璃基片的性质 2014-02-20

玻璃是一种透明的具有平滑表面的稳定性材料，可以在小于5000温度下使用。玻璃的热性质和化学性质随其成分不同而有明显变化。如透明石英玻璃，其杂质总含量小于l00ppm，在0. 18拜 m-45m一波长范围内，其为透明状态，在20＇C~ 1000C温度范围内，...