欢迎访问扬州欣达电子有限公司网站! 关于我们 联系我们

专注于薄膜开关,薄膜面板等研发与生产

安全省心,有效控制成本

img

咨询电话:

0514-86859177

img

咨询电话:

13805251384

您的位置:首页 > 新闻资讯 > 技术文章
PRODUCT CENTER
产品中心
行业资讯
企业动态
技术文章
咨询热线

0514-86859177

技术文章

薄膜结构与沉积原子的人射方向也有关

    薄膜结构与沉积原子的人射方向也有关。原子人射角的大小对薄膜结构有很大影响,使薄膜产生各向异性。随着结晶颗粒的增大,而入射的沉积原子就逐渐沿着原子的人射方向长大,于是会产生所谓的自身影响效应,从而使薄膜表面出现凹凸不平,缺陷较多,并出现各向异性。这种沿原子人射方向生长的倾向,在人射角越大时,表现得越严重。