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薄膜生长是过程的算法三全表法KMC
在这种方法中,对每一种可能的原子迁移都要枚举,建立了一个包括各种可能发生的事件,以及每个事件对应的激活能的大表。这是一种比较准确的方法,但这种方法在具体应用中非常复杂。例如当初始位置和目标位置各有12个最近邻时,在迁移过程中总共就要涉及到18个晶位,那么就有218种可能的事件,并要求计算相应的概率(还未考虑次近邻的影响)。因此建立该表非常困难,而且这种方法的通用性不强。
对以上3种算法而言,键计数KMC的适用性更强、更普遍。
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