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【技术文章】薄膜的电学性质 2014-08-04

薄膜的电学性质，如电阻率、电阻温度系数、介电常数等及其与膜厚、外加电场、环境温度等的关系直接决定了薄膜在各种实际应用中的性能。金属薄膜、介质薄膜、半导薄膜和超导体薄膜的电学性质都不一样。

【技术文章】什么是维氏硬度计 2014-07-31

维氏硬度计是以金刚石压入试样后，用所得压痕对角线的长度值(单位一般为微米)进行计算而求得硬度值的。金刚石压头的形状是一四方角锥体，锥面夹角为1360，它的压痕是一个压下去的四方角锥体。对于薄膜来说，过深的压痕其形变的影响范围有可能达到基片，这时测得硬度就不准...

【技术文章】薄膜的硬度测试 2014-07-25

物质的硬度定义为一种物质相对于另一物质的抗摩擦性或抗刻划性的能力。例如氮化钦薄膜蒸镀在齿轮或刀具的表面，可以延长它们的寿命，硬度极高、耐腐蚀性极好、透光性能优良的类金刚石膜可用于光学器件、太阳能电池的表面保护。 硬度试验方法多种多样，现在最常用的是...

【技术文章】内应力的测量方法-X射线衍射法 2014-07-23

用X射线衍射法可以测量出薄膜结构的面间距，将测量值与材料的标准面间距相比可以求出薄膜的应变，从而求出薄膜的内应力。为了使衍射峰不过于弥散，薄膜的厚度至少要数十纳米以上。图退火前后金刚石薄膜的X射线衍射图。由图可见，薄膜各晶面在退火前的峰位要大于退火后薄膜对应...

【技术文章】内应力的测量方法-弯盘法 2014-07-21

弯盘法的基本原理与悬臂梁法相同，也是利用基片的形变测定内应力的。所不同的是基片为圆形，在沉积薄膜前后测量基片的曲率半径Rl和R2，然后根据下式计算出薄膜中的内应力。 为了保证测试系经有较高的灵敏度，需要选用合适的基片和检测方法。现在常用的...

【技术文章】内应力的测量方法-悬臂梁法 2014-07-18

内应力测量方法大体上可分为两类，即机械法和衍射法。机械法测量基片受应力作用后弯曲的程度，衍射法则测量薄膜晶格常数的畸变。在这两大类中又分别有许多不同的方法，下面简单介绍几种常用的方法。 一、悬臂梁法 将薄膜沉积在基片上，基片受到...

【技术文章】附着力测试的直接法 2014-07-09

如果薄膜的附着力很强，即使粘结面被剥离而薄膜仍然附着，就要将力直接加到薄膜上使其剥离基片，这类测量附着力的方法称为直接法。直接法中有划痕法、摩擦法、离心法等。此处着重介绍常用的划痕法。 划痕法直接测量附着力的原理如图7一4所示。将一根硬针的*垂直...

【技术文章】薄膜的附着现象 2014-07-03

薄膜在基片表面上的附着，是范德华力、扩散附着、机械锁合、静电引力等多种因素综合作用的结果。如薄膜材料与基片形成化合物，化学键力成为主要的附着作用力。薄膜的附着力可分为简单附着、扩散附着、通过中间层附着和宏观效应附着等四种类型。

【技术文章】薄膜的附着力 2014-07-02

薄膜在基片上的附着性能决定了薄膜应用的可能性和可靠性。附着的定义为:薄膜与基片保持接触，两者的原子互相受到对方的吸附作用的状态。把单位面积的薄膜从基片上准静态地剥离下来所需的力为附着力，所需要的能量为附着能。

【技术文章】薄膜的力学性质概述 2014-06-30

薄膜的力学性质主要包括附着性质、应力性质、弹性性质和机械强度等。薄膜和基片之间的附着性能好坏将直接影响到薄膜的使用性能。在某些情况下还需考虑薄膜的其他力学性能，如主要用于增强基体的硬度与耐摩擦能力的超硬薄膜，则需要考虑耐压强度。