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Yangzhou Xinda Electronic Co., Ltd.
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Monte Carlo模拟薄膜生长的模型
模型的建立
薄膜沉积过程是一个非常复杂的物理化学变化过程。薄膜生长的整个过程不仅涉及到晶粒的生长、晶粒间的相互作用、边界运动等因素的机理,也涉及空间填补的拓扑几何机理。因此,要对此进行实际真实的模拟是不可能的,只能是针对研究的目的,建立合适的理想模型,以此了解微观世界所发生的事件。采用Monte Carl。模拟方法来考察粒子沉积在基体表面发生的随机过程。
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