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【企业动态】扬州欣达电子欢迎您
2014-04-12
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2014-04-12
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【技术文章】薄膜层状生长模式
2014-04-09
当被沉积物质与衬底之间浸润性很好时,被沉积物质的原子更倾向于与衬底原子相键合。因此,薄膜从成核阶段开始即采取二维扩展模式即层状生长模式(又称Frank -van der Merwe)。这种生长方式的特点是,蒸发原子首先在基片表面以单原子层的形式 均匀地覆盖...
【技术文章】薄膜岛状生长模式
2014-04-04
在岛状生长模式下,到达基片上的原子首先凝聚成无数不连续的小核,后续飞来的原子不断集聚在核附近从而使核在三维方向不断成长,最终形成连续的薄膜。因此岛状生长模式又称为核生长模式。大部分薄膜的形成过程都属于这种生长类型。这种生长模式的过程如图5一7(a)所示。岛状...
【技术文章】薄膜的形成与生长
2014-03-31
薄膜的形成过程是指形成稳定核之后的过程;薄膜生长模式是指薄膜形成的宏观形式。薄膜的生长模式大体上可分为三种:岛状生长模式、层状生长模式和层岛结合的生长模式。 如图所示:
【技术文章】薄膜晶核的形成与生长的物理过程
2014-03-26
在基底表面上吸附的气相原子凝结之后,吸附原子在其表面上扩散迁移而形成晶核。晶核再结合其他吸附气体原子逐渐长大,*便形成了薄膜。因此薄膜的形成是由成核开始的,由核生长而形成薄膜。 晶核形成与生长的物理过程可用图5一3来表示。从图中可以看出核的形成...
【技术文章】薄膜表面扩散过程
2014-03-22
入射到基底表面上的气相原子在表面上形成吸附原子后,它便失去了沿表面法线方向的动能,只具有与表面水平方向相平行运动的动能。依靠这种动能,吸附原子可以在表面上作不同方向的表面扩散运动。在表面扩散过程中,单个吸附原子间相互碰撞形成原子对之后才能产生凝结。因此凝结就...
【技术文章】薄膜的凝结吸附过程
2014-03-19
凝结过程是指从蒸发源中或溅射靶上被蒸发或溅射出来的原子、离子或分子人射到基底表面之后,从气相到吸附相,再到凝结相的一个相变过程,它是薄膜形成的*个阶段。 固体表面与固体内部在晶体结构上的重大差异就是原子或分子间的化学键中断。原子或分子在固体表面形成...
【企业动态】扬州欣达电子欢迎您
2014-03-17
动画
【技术文章】薄膜的形成与生长
2014-03-15
薄膜的形成与生长过程大体可分为外来原子在基底(或称为基片、基板或衬底)上的凝结、扩散、成核、晶核生长、原子或粒子团的接合及连接成膜等阶段。薄膜的形成与生长过程不仅与薄膜材料和基底材料有关,还受原子和离子的状态及能量、沉积速率、基底温度、杂质等多种因素的影响。...
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