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    用X射线衍射法可以测量出薄膜结构的面间距，将测量值与材料的标准面间距相比可以求出薄膜的应变，从而求出薄膜的内应力。为了使衍射峰不过于弥散，薄膜的厚度至少要数十纳米以上。图退火前后金刚石薄膜的X射线衍射图。由图可见，薄膜各晶面在退火前的峰位要大于退火后薄膜对应的峰位的角度。根据测得的角度可用布喇格公式