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    在薄膜内部任一截面上，单位截面的一侧受到另一侧施加的力称为薄膜的内应力。内应力一般用。表示，其单位为N/m2。用真空蒸发、溅射、气相生长等方法制作的薄膜都有内应力，内应力*时可达(10)9 N/m2，过大的内应力会使薄膜开裂或起皱脱落，使薄膜元器件失效。
    内应力可分为张应力和压应力两大类。截面的一侧受到来自另一侧的拉伸方向的力时，称为张应力;而受到推压方向的力时，称为压应力。过大的张应力使薄膜开裂;过大的压应力使薄膜起皱或脱落，一般习惯上对张应力取正号，对压应力取负号。
    内应力从其起源来分，可分为热应力和本征应力。在制备薄膜的过程中，薄膜和基片都处于比较高的温度，当薄膜制备完以后，它与基片又都恢复到常温状态，由于薄膜和基片的热膨胀系数有差别，这样在薄膜内部就会产生应力，这种由热效应产生的应力称为热应力。当薄膜和基片的热膨胀系数与温度无关时，热应力随温度作线性变化，薄膜和基片的热膨胀系数越接近，热应力也就越小。
    薄膜的形成过程中由缺陷等原因而引起的内应力称为本征应力。从总内应力减去热应力就是本征应力的值。本征应力与薄膜厚度有关。在薄膜厚度很小时，构成薄膜的小岛互不相连，即使相连也呈网状结构，此时的内应力较小。随着膜厚的增加，小岛互相连接，由于小岛之间晶格排列的差异以及小孔洞的存在，使内应力迅速增大，并出现*值。膜厚进一步增加，并形成连续薄膜时，膜中不再有小孔洞存在，此时应力减小并趋于一稳定值。