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这种方法的实质是将元素周期表中IV族和III、V族中某些元素合成烃氧基化合物,以及利用一些无机盐类,如氧化物、硝酸盐、乙酸盐等作为被镀膜物质。将这些成膜物质,溶于某些有机溶剂,如乙酸或丙酮中便成为镀液,将其放在镀槽中旋转的平面玻璃镀件表面上,因发生水解作用而形成了胶体膜,然后再进行脱水,*便获得该元素的氧化物薄膜。例如:用钛酸乙醋[Ti (OC2HS5)4]和硅酸乙脂[Si(OC2H5)4]制作入/4一入/2- 入/4三层宽带增透膜及其他光学膜等即属此方法。这种方法和下面将要介绍的溶胶一凝胶法比较接近。