薄膜开关薄膜表面粗糙度检测
1测试原理
薄膜表面存在微小的凹凸不平的表面，利用仪器的触针(或探头)在薄膜表面移动，从而测出薄膜的表面粗糙度Ra.
2试验仪器和用品
a)能满足薄膜试样的平均粗糙度侧试范围及精度要求的表面粗糙度测试仪器均可使用，仪器误差不大于士10%.
b)丙酮少许及端部包有脱脂棉花的棉签.
3试样制备
从样品上纵、横向各取三块试样，其尺寸以能完全覆盖与仪器配套的测试小平面为准.试样表面必须洁净，无损伤、褶皱。
4试验步骤
用棉签蘸上丙酮清洗仪器的测试平面.将试样放在仪器的测试平面上，试样要完全贴紧平面，无气泡存在。试样的被测试面朝向测试指针，读出3块试样纵、横向各六个Ra的数值.
5结果的计算与表示
薄膜的表面粗糙度以三个试样的六个Ra的算术平均值表示，单位为5m.
