沉积的薄膜，经过热处理可以改善其结构和性能
沉积的薄膜，经过热处理可以改善其结构和性能。对于单一金属薄膜，经过热处理可使晶格排列较整齐些。对于合金材料和氧化物材料，经过热处理会使各组分相互扩散，获得所需的固溶体。热处理可以部分地消除晶格缺陷，改善薄膜热稳定性，又可清除内应力，增强薄膜与基片的附着力，同时还可消除膜层中气体分子的吸附，在薄膜表面生成一层氧化保护层，从而保护膜层免受侵蚀和污染。
基片的表面状态对薄膜的结构质量也有很大影响。如果基片表面粗糙度低、表面清洁，则所获得的膜层结构致密，容易结晶，否则相反，而且附着力也差。
真空度的高低也直接影响薄膜的结构和性能，真空度低，材料受残余气体分子污染严重，薄膜性能变差，即使在高真空的情况下，薄膜中也免不了有吸附气体分子，提高温度有利于气体分子的解吸。
