基片温度对薄膜结构也有较大影响
基片温度对薄膜结构也有较大影响。基片温度高，使吸附原子的动能随着增大，跨越表面势垒的几率增大，容易结晶化，并使薄膜缺陷减少，同时薄膜内应力也会减小。基片温度低，则易形成无定形结构的薄膜。基片温度的选择要视具体情况而定。一般说来，如果沉积的膜层比较薄，当基片温度比较低时，沉积室内的金属原子很快失去动能，并在基片表面上凝结，这时的膜层比较均匀致密，当基片温度过高时反而会出现大颗晶粒，使膜层表面粗糙.如果沉积比较厚的膜层，一般要求基片温度适当高一些，可以减少膜的内应力。
