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   采用适当的金属有机化合物溶液水解的方法，也可获得所需的氧化物薄膜。这种济液水解镀膜方法的实质是将某些III、IV、V族元素合成烃氧级化合物，以及利用一些无机类如氧化物、硝酸盐、乙酸盐等作为镀膜物质，将这些成膜物质溶于某些有机溶剂，如乙酸丙酮或其他的有机溶剂中成为溶胶，采用浸渍和离心甩胶等方法将溶液涂覆于基体表面，因发生水解作用而形成胶体膜，然后进行脱水而凝结为固体薄膜。膜厚取决于溶液中金属有机化合物的浓度、溶胶液的温度和黏度、基片的旋转速度、角度以及环境温度等。
   溶胶一凝胶工艺的主要步骤为:先将金属醇盐溶于有机溶剂中，然后进行脱水而加入其他组分(可为无机盐形式，只要加入后能互相混溶即可，制成均质溶液，在一定温度下发生水解聚合反应，形成凝胶。其主要过程包括以下的水解聚合反应:

   采用溶胶一凝胶法制备薄膜具有多组分均匀很合、成分易控制、成膜均匀、能在较大面积上制备较薄的薄膜、成本低、周期短、易于工业生产等优点。目前已用于制备TiO2、Al2O3、SiO3、BaTiO3、PbTiO3、PZT、PLZT等薄膜。